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PECVD?系統是為了使傳統的化學氣象沉積（CVD）反應溫度降低，在普通?CVD?裝置的前端加入?RF?射頻感應裝置將反應氣體電離，形成等離子體，進而利用等離子體的活性來促進反應，所以這個系統稱為增強型化學氣相沉積系統（PECVD）。

? ? 該型號PECVD為我公司最新款，綜合了國內大多數廠家的管式?PECVD?系統的優點，在?PECVD?前端加入了氣體預熱區，實驗證明此結構沉積速度快，成膜質量好，針孔較少，不易龜裂。控制部分采用了我公司自主研發的實驗電爐全自動智能控制系統，使得操作更加簡便，功能更加強大。? ???

主要特點

?氣體預熱——增加前端氣體預熱區，沉積速度更快，成膜效果更好；

?智能?控制系統——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統控制統一集中調節和操控，協調控制；

?管內壓力自動平衡——管內壓力實時監測，自動平衡管內壓力。

?智能氣路通斷——每路氣體均可定時通斷，省時省力；

?射頻功率和開關定時控制——預先設定好功率的大小和打開與關閉的時間，系統自動運行；

?爐膛移動速度可調——根據實驗要求，用戶可設定爐膛左右移動的速度可距離；

?整機結構融為一體——移動方便，避免分散組裝的困擾。

技術參數